超精密振动一位移测量仪是电容不接触式%性精密测量仪器，它既是测振仪，又是电子测微计，直接读取被测静态位移值或振动幅值（单峰值），。
性能指标
量程/分辨率:±3.000μm/0.001μm、±30.00μm/0.01μm、±300.0μm/0.1μm
测量频率范围：0—7500HZ
线性度：≤±0.5%
输出信号：0—±5.1V 0—18mA
零点漂移（开机预热10分钟后）：≤±0.25%FSO/h
量程、初始间隙δ0与传感器电，直径d0
测量圆柱面时，应将仪器示值乘以一修正系数K1，不同圆柱面直径D的K1值
工作温度：放大器－10℃－+60℃ 探头－30℃－+200℃
电源：220V±10%  50HZ
体积：258mm×300mm×102mm
使用方法：
静态位移测量
1.频率校准
将传感器的高频插头插入外接振荡器的“输入"插座，外接振荡器的“输出"与仪器后面板的“输入"用两头带有高频插头的电缆联接起来，插好电源线，打开电源，仪器有数码显示，将8.2电，拧入传感器头部，并使之远离物体，按下前面板按键“频率较准"、“位移"，这时数显有指示，预热10分钟，调节“调零"旋钮，使显示回到零点，如果偏向一边，则调节“频率较准"钮，使显示回到零点附近，调节“调零"旋钮回到零点。
2.选用量程和测量电，，安装传感器
根据被测位移值（或振动幅值）可能变化的范围，由表1查得相应的量程和电，直径d0。如选用±30μm档，直接按下30μm档量程键，再将传感器借助弹性夹套安装到磁力表座（或用户自制的，夹具）上，使测量电，的测量端面接近被测量物体表面，如果是平面或圆柱面，应尽可能平行，如果是球面，应可能对中。
3.调整初始间隙，开始测量
调整的初始间隙（参考值），调整时显示为“+"位移值时，反时针转动传感器微调螺母，使测量间隙逐渐增大，反之顺时针转动，间隙减少，数值会逐渐接近零点。借助面板上的“调零"旋钮细调，可使仪器，指零，测量即可开始，当被测表面接近传感器，测量间隙小，表示被测尺寸增加，仪器示值为“+"位移值，反之为“—"位移值，选用其它两种量程，只需要根据表1重新换用测量电，，切换量程和重新调整初始间隙。
4.与%仪表联接
仪器设有“电压输出"插座，三种量程的满量程电压输出信号都是±5.1V（线性区）电流18mA，电压输出可与%种高输入阻抗仪表（计算机，示波器，频率计，FFT频谱分析仪等）联接，以便对被测信号进行记录、观察和分析处理。
(三)、振动测量
仪器测量振动位移时，其方法基本同静态位移测量相似，其中初始间隙的调整可在被测物体启动前进行，也可在启动后进行，振动测量时,“位移"示值是显示被测物体启动后的浮动位移，同静态位移一样，都是直流信号分量，与交流信号分量无关，“振幅"示值是被测振动信号的单振幅值（与直流信号分量无关），如果“位移"示值远离零点，应转动传感器微调螺母，使输出回到零点附近，以，振动测量有满量程的线性工作范围。
2.仪器输出电压与外接仪表定标，确定被测振动位移值
仪器输出电压接到%仪表上，%仪表使用直流DC输入，在“频率校准"状态下，调整“频率校准"钮在满量程范围内给出两个不同的示值（如零与正满度值，即为3μm或30μm或300μm），看其在外接%仪表中相应的偏离格数，由此确定其间的定量关系，振动测量时，根据所选量程，仪器输出电压在%仪表中所对应的格数，通过以上定标所确定的定量关系，确定出被测物体振动的位移值。
（四）注意事项：
1.仪器属精密测量仪器，固定传感器支架要有刚性，传感器调整好，让其稳定一段时间，消除支架的机械蠕变再开始测量。
2.被测量金属物体要接地。
3.测量过程中尽量不要挪动传感器的联接电缆线，使电缆线自然放置。
配套部件：
超精密振动—位移测量仪                           一台
外接振荡器                                       一只
传感器（包括弹性夹套、塑料保护套、φ2.9 、φ8.2、
φ26电容，板%一枚）                             一套
220V交流电源线                                   一根
输出测量线                                       一根
外接振荡器与仪器本体联接线                       一根
接地线                                           一根
手提箱                                           一只